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干式螺桿真空泵優點:
1、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層,可適應惡劣工況。
2、氣體在泵內無壓縮,適宜抽取可凝性氣體。
3、不耗油,無滴漏。
4、結構簡單,維護方便。
5、被抽氣體直接排出泵體,不污染水,無環保壓力,氣體回收更便捷。
干式螺桿真空泵缺點:
1、不適于抽除含有爆炸性的氣體。
2、不適于抽除含氧過高的氣體,隨著我國工業界的發展,在半導體工業、液晶顯示器等工藝制造中,對清潔真空環境的要求越來越高,而傳統的有油真空泵已經達不到這樣的要求了。
干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點,得到越來越多制造和應用單位的重視,在干式真空泵市場中占有重要的地位,在歐美和日本等發達國家,螺桿型干式真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的有油泵。
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